中国科学院光电技术研究所机构知识库
Advanced  
IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)  > 期刊论文
题名:
掩模移动曝光系统精密定位工件台研制
作者: 佟军民 ; 胡松 ; 余国彬
刊名: 微细加工技术
出版日期: 2007
卷号: 34, 期号:3, 页码:18-22
通讯作者: 佟军民
文章类型: 期刊论文
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1649
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

Files in This Item:
File Name/ File Size Content Type Version Access License
7086.pdf(1145KB)----开放获取View 联系获取全文

Recommended Citation:
佟军民,胡松,余国彬. 掩模移动曝光系统精密定位工件台研制[J]. 微细加工技术,2007,34(3):18-22.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[佟军民]'s Articles
[胡松]'s Articles
[余国彬]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[佟军民]‘s Articles
[胡松]‘s Articles
[余国彬]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: 7086.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院光电技术研究所 - Feedback
Powered by CSpace