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题名:
基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计
作者: 邓玖根 ; 张正荣 ; 胡松 ; 唐小萍 ; 马平
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2007
期号: 12, 页码:1082-1086
通讯作者: 邓玖根
文章类型: 期刊论文
收录类别: 其他
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1647
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邓玖根,张正荣,胡松,等. 基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计[J]. 微纳电子技术,2007(12):1082-1086.
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