中国科学院光电技术研究所机构知识库
Register
Email:
Passwd
验 证:
换一张
Have you forgotten your password? Log In
Advanced  
  Communities
  Subjects
  All Items
IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室（四室）  > 期刊论文
题名:
电子束曝光机激光工件台系统研制
作者: 乔俊仙
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2006
卷号: 91, 期号:2, 页码:~
通讯作者: 乔俊仙
文章类型: 期刊论文
收录类别: CSCD
语种: 中文
Citation statistics:
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1454
Appears in Collections:微电子装备总体研究室（四室）_期刊论文

Files in This Item:
File Name/ File Size Content Type Version Access License
6047.pdf（461KB）----开放获取
CC BY-NC-ND
View 联系获取全文

Recommended Citation:
乔俊仙. 电子束曝光机激光工件台系统研制[J]. 微纳电子技术,2006,91(2):~.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[乔俊仙]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[乔俊仙]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名： 6047.pdf
格式： Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放，请您登录
您对该条目有什么异议，请填写以下表单，管理员会尽快联系您。
内 容：
Email：  *
单位：
验证码：   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题：
  * 
内 容：
Email：  *
验证码：   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 
Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2017  中国科学院光电技术研究所 - Feedback
Powered by CSpace