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IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）  > 期刊论文
题名:
烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响
作者: 唐雄贵 ; 姚欣 ; 郭永康
刊名: 微细加工技术
出版日期: 2005
期号: 3, 页码:31-
通讯作者: 唐雄贵
文章类型: 期刊论文
收录类别: 其他
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1350
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）_期刊论文

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唐雄贵,姚欣,郭永康. 烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响[J]. 微细加工技术,2005(3):31-.
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