烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响 | |
唐雄贵; 姚欣; 郭永康 | |
Source Publication | 微细加工技术
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Issue | 3Pages:31- |
2005 | |
Language | 中文 |
Indexed By | 其他 |
Subtype | 期刊论文 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1350 |
Collection | 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室) |
Corresponding Author | 唐雄贵 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 唐雄贵,姚欣,郭永康. 烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响[J]. 微细加工技术,2005(3):31-. |
APA | 唐雄贵,姚欣,&郭永康.(2005).烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响.微细加工技术(3),31-. |
MLA | 唐雄贵,et al."烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响".微细加工技术 .3(2005):31-. |
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