电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 | |
乔俊仙; 王肇志; 余国彬 | |
Source Publication | 电子工业专用设备
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Volume | 34Issue:6Pages:11-13 |
2005 | |
Language | 中文 |
Indexed By | 其他 |
Subtype | 期刊论文 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1293 |
Collection | 微电子装备总体研究室(四室) |
Corresponding Author | 乔俊仙 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 乔俊仙,王肇志,余国彬. 电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析[J]. 电子工业专用设备,2005,34(6):11-13. |
APA | 乔俊仙,王肇志,&余国彬.(2005).电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析.电子工业专用设备,34(6),11-13. |
MLA | 乔俊仙,et al."电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析".电子工业专用设备 34.6(2005):11-13. |
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