| 电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 | |
| 乔俊仙; 王肇志; 余国彬 | |
| Source Publication | 电子工业专用设备
 |
| Volume | 34Issue:6Pages:11-13 |
| 2005 | |
| Language | 中文 |
| Indexed By | 其他 |
| Subtype | 期刊论文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1293 |
| Collection | 微电子装备总体研究室（四室） |
| Corresponding Author | 乔俊仙 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 乔俊仙,王肇志,余国彬. 电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析[J]. 电子工业专用设备,2005,34(6):11-13. |
| APA | 乔俊仙,王肇志,&余国彬.(2005).电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析.电子工业专用设备,34(6),11-13. |
| MLA | 乔俊仙,et al."电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析".电子工业专用设备 34.6(2005):11-13. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 085.pdf（343KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | View Application Full Text | |||
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