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题名:
新型URE-2000S型紫外单、双面深度光刻机研制
作者: 马平 ; 杨春利 ; 胡松 ; 赵立新
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2005
卷号: 42, 期号:8, 页码:388-391
通讯作者: 马平
文章类型: 期刊论文
收录类别: 其他
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1289
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马平,杨春利,胡松,等. 新型URE-2000S型紫外单、双面深度光刻机研制[J]. 微纳电子技术,2005,42(8):388-391.
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